本文用于整理前期技术信息；具体型号、材料、参数与标准以项目文件和最终技术确认资料为准。
半导体设备上的「阀门」很少是给水管网上那种减压阀。真空腔要管的是抽速与腔压，工艺气体要管的是脉冲、隔离和材料兼容。摆阀、隔膜阀、角阀、控制阀出现在不同截面。减压阀若出现，多半在气柜或供气管把气瓶/管道压力降到气盘允许区间，是外围压力管理，不是腔压控制件。本页标题不使用「半导体减压阀」。
工业气瓶减压见 气体与气瓶减压阀安全边界。给水先导减压见 先导式减压阀的调节逻辑。本页不把那些阀写成超高纯工艺阀。阀天流体控制（江苏）有限公司现有普通工业阀门，不能暗示可直接用于半导体超高纯工况；超高纯件以该工艺指定的制造商样本和洁净规范为准。
四类工艺阀各管哪一段
真空摆阀 / 钟摆阀。 VAT 把 pendulum valve 写成一类隔离—控制阀：阀板以旋转方式离开通流截面，用细的流导控制做工艺腔的下游压力控制。隔离型主要切断；控制型额外用电机等执行器定位阀板。工作方式：阀板绕通流之外的轴摆入或摆出抽气通路；控制器读腔压传感器，改阀板位置，从而改流导。阀板进一步挡住抽气，流导下降，腔压上升；开大则泵抽得更有效，腔压下降。VAT 公开说明把它与蝶阀区分：蝶阀阀板在气流中旋转，扰动和颗粒表现不同。这些是该制造商对摆阀功能的定义，不是把某一漏率写成全行业限值。选型要核：工作压力区间、隔离还是闭环控压、腐蚀/颗粒、执行器类型。本页不抄该系列的毫巴范围当通用表。
隔膜阀与 ALD 阀。 工艺气体支路上，隔膜把执行器和介质隔开，用于开关或短脉冲。原子层沉积用的超高纯隔膜阀是这一类的高速、高循环子集。Swagelok ALD 样本把阀体写成 316L VIM-VAR、符合 SEMI F20 超高纯材料，阀座为高纯 PFA，并给出该系列的氦检漏指标和气动常开/常闭。泄漏率、循环寿命只对应该图号试验条件，不能当成所有隔膜阀的合格线。死体积（内部容积）以该型号样本为准；样本没写就不要口头补一个数。执行控制核：常开/常闭、气动还是加热执行器、到位反馈、是否多通路集成。不要把隔膜阀叫成减压阀。
角阀。 阀体流道呈角，常见于真空抽口、旁抽或工艺支管转向。它可以是波纹管密封的真空角阀，也可以是超高纯隔膜阀的角式阀体（Swagelok ALD 样本提供直通与弯头两种阀体）。角阀说的是流道几何，不是一种控压原理。核对连接法兰/VCR、密封是波纹管还是隔膜、执行器，不要和摆阀的腔压闭环混称。
控制阀（工艺意义上）。 在真空侧，控压常常就是摆阀控制型加压力传感器。在气体侧，控的是流量、脉冲宽度或切断，不一定是减压。质量流量控制器、气动开关阀与减压阀是三条沟。把「控制阀」三个字写进订单而不写介质、真空还是正压、隔离还是调节，会对错设备。
减压阀只是供气外围
气瓶或管道氢、氮、特种气体进入气盘之前，可能需要减压。那只是把供气压力放到下游气动阀和流量计允许的区间。它不控制真空腔压力，也不完成 ALD 脉冲。腔压走摆阀/蝶阀与泵；脉冲走隔膜阀与时序。把减压阀样本的出口压力当成工艺设定，会问错对象。
外围减压仍要按该气体的材料、禁油、洁净等级选，见 气体与气瓶减压阀安全边界 与 氢气减压阀与减压阀组的选型、系统位置和安全边界。普通工业减压阀、气动三联件减压单元，不能默认满足超高纯颗粒、烃类和离子残留要求。Swagelok 超高纯工艺规范把清洗、装配环境和表面粗糙度写成该规范的过程，不是压力额定的附属功能。
洁净度、死体积、泄漏率、材料、执行：只核边界
| 核对项 | 问什么 | 不要做什么 |
|---|---|---|
| 洁净度 | 清洗规范、包装、装配环境是否写在订单采用的规范名上 | 不编颗粒数或表面粗糙度通式 |
| 死体积 | 该阀内部容积是否落入脉冲/吹扫能接受的范围 | 样本未给就不编毫升 |
| 泄漏率 | 阀座与外壳分别按哪一种氦检方法、哪个方向 | 不把某一指数当成行业法规 |
| 材料兼容 | 阀体、隔膜、阀座、密封与该工艺气体、温度是否在制造商表内 | 不说「不锈钢即可」 |
| 执行控制 | 常开/常闭、气源、到位信号、控压是开环还是腔压闭环 | 不写带压拆执行器步骤 |
SEMI F1、F20、E49 系列在制造商试验报告中作为方法或材料入口出现。本页只提示要对着该阀报告核对名称，不摘未打开的 SEMI 全文条款。
常见问题
摆阀是不是半导体专用减压阀？
不是。摆阀管真空腔与泵之间的流导和隔离。减压阀若存在，在供气外围。
隔膜阀和给水膜片式减压阀是不是同一件？
不是。工艺隔膜阀隔离介质并开关/脉冲；给水膜片减压阀用膜片感出口压力。见 膜片式减压阀的工作原理：膜片、弹簧、阀座与压力反馈如何配合。
普通不锈钢球阀清洗一下能不能上超高纯？
不能靠口头清洗代替超高纯材料、清洗规范和检漏方法。本站普通工业阀不按超高纯工艺阀沟通。
本页有没有泄漏率和 Cv 表？
没有。只指向该型号样本和试验报告。泄漏以试验报告为准。
参考资料
- VAT, Vacuum Pendulum Valves — 摆阀定义、隔离与控制型差别、阀板调流导以控腔压、与蝶阀差异。https://www.vatvalve.com/category/pendulum-vacuum-valves
- Swagelok MS-02-301 ALD/超高纯隔膜与波纹管阀样本 — SEMI F20 阀体材料、该系列氦检漏指标、直通/弯头阀体、气动执行。https://www.swagelok.com/downloads/webcatalogs/en/ms-02-301.pdf
- Swagelok ALD6 技术报告 MS-06-22 — 按 SEMI F1 做阀座氦检，指标属该试验批次。https://www.swagelok.com/downloads/webcatalogs/en/ms-06-22.pdf
- Swagelok SC-01 超高纯工艺规范 MS-06-61 — 清洗与材料是过程规范，不是压力额定。https://www.swagelok.com/downloads/webcatalogs/EN/ms-06-61.pdf
- 本站 气体与气瓶减压阀安全边界 — 供气外围减压，不进入腔压控制。
示意图非正式腔体布置。阀天流体控制（江苏）有限公司按技术协议确认供货范围；半导体超高纯与真空工艺阀以工艺指定制造商资料为准，不把普通工业阀当作可直接替代件。
NEED A PRODUCT DIRECTION?